1.X射線熒光光譜儀；包括手持式及臺式機，分為波長色散、能量色散、非色散X熒光、全反射X熒光光譜儀。采用X射線照射試樣，可以激發出各種波長的熒光X射線，通過檢測熒光X射線的波長或者能量可以判別元素的種類，根據熒光X射線的強度與相應元素含量的關系可以進行定量分析。X射線熒光光譜儀以其普適快捷的特點廣泛應用于礦石分析、金屬冶煉、機械加工、電子、化工、產品質檢等行業。

　　2.紅外光譜儀；即傅立葉變換紅外光譜儀。當紅外光照射到樣品上時，結構不同的官能團會對不同頻率的紅外光有選擇性的吸收，分析樣品對紅外光的吸收譜圖就便能得到樣品的官能團信息，通過檢測相應官能團吸收峰強度進行半定量分析。紅外光譜儀可應用在染織工業、環境科學、生物學、材料科學、高分子化學、煤結構研究、石油工業、生物醫學、生物化學、藥學、無機和配位化學基礎研究、半導體材料、日用化工等研究領域。

　　3.直讀光譜儀；可采用CCD或光電倍增管，分為手持式、移動式、臺式機及立式機。采用原子發射光譜學的分析原理，將樣品通過直流電弧、交流電弧或高壓火花激發生成原子蒸氣，其發射光譜通過光導纖維進入分光室中色散成各光譜波段，元素的發射光譜譜線強度正比于樣品中該元素的含量，通過校正曲線可測定其含量百分比。直讀光譜儀分析精度高，檢測速度快、檢測范圍廣，目前已廣泛應用于冶金、機械加工、金屬回收、軍工、航空航天、電力、質檢等行業。

　　紅外光譜儀的種類有：

　　1.棱鏡和光柵光譜儀。屬于色散型，它的單色器為棱鏡或光柵，屬單通道測量。

　　2.傅里葉變換紅外光譜儀。它是非色散型的，其核心部分是一臺雙光束干涉儀。當儀器中的動鏡移動時，經過干涉儀的兩束相干光間的光程差就改變，探測器所測得的光強也隨之變化，從而得到干涉圖。經過傅里葉變換的數學運算后，就可得到入射光的光譜。這種儀器的優點：

　　①多通道測量，使信噪比提高。

　　②光通量高，提高了儀器的靈敏度。

　　③波數值的度可達0.01厘米-1。

　　④增加動鏡移動距離，可使分辨本領提高。

　　⑤工作波段可從可見區延伸到毫米區，可以實現遠紅外光譜的測定。